是一种测量设备,通过发射一束激光脉冲,在样品表面激发表面声波,对薄膜或者材料表面进行检测。表面声波是沿着材料表面传播的弹性震动波,弹性形变的范围在纳米范围,因而检测过程不会对材料本身造成损伤。声波的穿透深度与其波长相对应,波的能量主要集中在表面,因此它能检测厚度远小于波长的薄膜。对于频率较高的声波,其波长更短,穿透深度也更小,所以表层薄膜对他的影响也更大。该设备测量不同频率的声波的传播速率与频率的关系,测量结果以“色散曲线”的形式表现出来。“色散曲线”的形状取决于薄膜与衬底材料的弹性模量(杨氏模量)、密度,以及薄膜的厚度。通过对测量曲线的与理论曲线的拟合对比,可以得到这些参数中的一个或者几个。样品表面微结构的梯度变化,例如加工层,也可以被检测。
更新时间:2025-06-23