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赫尔纳供应瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50
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压力计
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输送带
风管
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压力传感器
企业档案
会员类型:标准版
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法人代表: 【已认证】
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详细内容
赫尔纳供应 德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,支持选型,为您提供一对一的解决方案:货期稳定,报价,价格优,在中国设有8大办事处提供相关售后服务
1.公司介绍
瑞士INFICON专注真空测量仪器、检漏设备与气体分析仪器研发制造,生产体系执行ISO9001、ISO14001质量环境体系标准,产品满足RoHS规范。品牌面向半导体、镀膜、热处理等行业开发真空监测与控制硬件,覆盖从大气压到高真空区间的压力检测需求。瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50属于PSG50x/PSG51x系列数字皮拉尼仪表,瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50搭载数字皮拉尼传感技术,瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50适配前级真空管路监测,瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50支持一键式大气与高真空校准,瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50在半导体真空工艺设备中广泛配套使用。
2.产品类型
-皮拉尼真空计
-电容薄膜真空计
-热电离真空计
-真空计控制器
-真空检漏仪
-残余气体分析仪
-半导体工艺气体监测传感器
3.主要型号
- PSG500
- PSG500-S
- PSG502-S
- PSG510-S
- PSG512-S
- CDG025D
- IE414
- VGD500
- PGE500
- IM540
4.产品概述
瑞士INFICON皮拉尼真空计PSG50依靠皮拉尼热传导原理完成压力检测,覆盖大气压至中真空区间,用于真空系统压力采集、联锁控制。
核心参数:
-测量范围:5×10⁻⁴~1000 mbar
-氮气测量精度:1×10⁻³~100 mbar,读数 ±15%;5×10⁻⁴~1×10⁻³mbar,读数 ±50%;100~1000 mbar,读数 ±50%
-重复性(空气):1×10⁻³~100 mbar,读数2%
-供电:直流14~30V,功耗≤1W
-工作温度:5~60℃
-耐过压:10bar绝对过压,螺纹接口
-烘烤规格:最高250℃烘烤版本可选
-信号输出:对数信号输出
工作原理:传感器内部发热丝产生热量,气体分子带走热量,气体压力变化会改变热传导速率,电路采集温度变化信号转换为真空压力数值。不同版本可选用钨丝、镍丝,强腐蚀工况选用陶瓷馈通结构,仪表可在任意安装方向稳定工作。
5.优势特点
-支持一键ATM与HV校准,缩短现场仪表标定耗时,减少设备停机时长。
-铝制外壳搭配不锈钢测量腔,可承受最高10bar绝对过压,避免意外压力冲击损坏传感器。
-对数信号输出形式,便于接入PLC与真空控制器,降低系统集成工作量。
-提供多材质灯丝与馈通选项,镍丝适配腐蚀工况,陶瓷馈通可用于极腐蚀性介质环境。
-整机功耗≤1W,长时间连续运行,降低真空系统配套供电负荷。
6.主要应用
-半导体设备前级真空管线,实时监测粗真空与中真空压力,联动高真空电离计启停。
-真空镀膜产线,监测腔体预抽阶段压力,作为工艺启动的联锁信号。
-真空热处理炉,采集炉内粗真空压力,搭建安全保护回路,规避压力异常风险。
-科研真空实验装置,用于精细真空与粗真空区间压力测量与闭环控制。
-冷冻与制冷行业检漏配套真空系统,监测预抽真空压力状态。
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热门标签:真空计,真空装置,真空测量
















