ZVI-VB系列真空主动隔振平台

特点

• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构

• 机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构

• 适用1E-4Pa的真空环境

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 标品负载最大支持7000KG

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

技术指标

• 主动隔振带宽：0.5-150Hz

• 台面稳定性：≤±5um

• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达270N

• 系统支持最大功率400W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：1800Kg

命名规则

选型表：（M、K、P参考具体台面信息）

尺寸图：

相关案例：

• 光刻机：确保光刻胶的精确涂布和曝光。

• 刻蚀设备：在纳米精度上进行精确加工，确保芯片电路的完整性。