可选版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度

25 × 25 mm × 8 mm

2 主体材料

不锈钢

纯钛

不锈钢

不锈钢

3 线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)

4 运动⾏程

8 mm

5 最⼤速度

~ 20 mm/s

6 最⼩步伐

⼩于 15 nm

7 驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

8 最⼤⽔平推⼒

2 N

9 保持⼒

5 N

0.3 mrad / 0.2 mrad

10 全⾏程俯仰/偏摆

运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)

11

最⼤垂直负载

2 N

12

保持⼒

5 N

传感精度

13

位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

14

位置传感量程

8 mm

15

位置传感分辨率

~ 150 nm