可选版本 ⇨

正常版本

.NM 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2 主体材料

铝合⾦

3 中空透孔

80 mm × 60 mm

4 运动⾏程

200 um × 200 um

5 闭环分辨率

优于1nm

6 推荐最⼤负载

500 g

7 闭环传感器

电容式

8 电容精度

0.3 nm

9 压电电容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 摄⽒度

10 推荐使⽤温度

11 质量

1 kg

12 安装

螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY