可选版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

X Y

2 外形尺⼨

250 mm × 200 mm × 30 mm

3 必须安装空间

325 mm × 250 mm

4 有效穿孔

85 mm × 65 mm

5 主体材料

铝合⾦

6 线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度

10 – 40 °C

运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)

8 运动⾏程

75 mm × 50 mm

9 最⼤速度

~ 20 mm/s

10 最⼩步伐

~ 30 nm

11 驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

12 最⼤负载

2 kg

13 全⾏程俯仰/偏摆

0.8 mrad

传感精度

14 位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

- 光栅尺传感( .O )

75 mm × 50 mm

15 位置传感量程

- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm

- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

16 位置传感分辨率