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晶棒参考面定向仪
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价格:¥电议
更新日期:2016/4/8 14:20:09
生 产 地:中国大陆
产品型号:YX-11A型
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王**
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相关标签:晶棒参考面,晶棒定向专用仪器,X射线定向仪,晶体定向仪
详细内容
YX-11A晶棒参考面定向仪(OF)
用 途:
该设备是加工晶棒参考边(OF面)时定向的专用仪器,是外圆滚磨机床后道工序的配套设备,将外圆滚磨机床、磨好的晶棒放在该仪器上进行定向;然后到平面磨床上磨参考面;其定向角度是固定式,客户可根据自己的晶体材料选择不同晶体的角度,如:蓝宝石A 、R面;硅、砷化稼、锗(110)等晶向角度。(订货时晶向角度可自选)
特 点:
此设备的优点是测量精度高,一台设备的定向、能购满足多台平面磨床的使用。标准配置2、4英寸夹具各一套。(订货时夹具尺寸可以选配)
方 法:
把滚磨机床磨好的晶棒放到 V型槽专用夹具中,放到工作台上,使定向头慢慢向下移动直至碰到晶棒为止,打开射线光闸测量其晶向,然后慢慢转动晶棒找到参考边方向,反复几次的找到角度最大值;然后将夹具锁紧,连同V型槽专用夹具一同放到平面磨机床上,磨出参考边。
主要技术参数:
| X 射线管 | 铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
| 管电压 | 30KVP,全压合闸 |
| 管电流 | 0-5mA,连续可调 |
| 电源输入 | 单相交流220V 0.5KW |
| 测量角度 | 固定式蓝宝石A向18°55 |
| 计数管 | 盖革,工作电压DC;700---1200V |
| 时间常数 | 0.1、0.4、3秒;3档可调 |
| X窗口控制 | 电磁光闸 |
| 测晶棒重量 | 20Kg晶棒 |
| 测晶棒直径;长度 | 直径2--4英寸、长50-300 mm |
| V槽夹具 | 标准配置、直径2、4、英寸 |
| 外形尺寸 | 长1140×宽650×高1700 |
| 仪器重量 | 150KG |
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