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长晶棒定向仪(适用太阳能、晶圆片、晶棒)

长晶棒定向仪(适用太阳能、晶圆片、晶棒)

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更新日期:2016/4/8 14:20:09

生 产 地:中国大陆

产品型号:YX-7M型

简单介绍:针对客户测量大直径、长尺寸硅晶圆片、晶棒而设计,此仪器为双工作位。

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详细内容

YX⁻⁷M 型长晶棒定向仪(适用太阳能、晶圆片、晶棒)
针对客户测量大直径、长尺寸硅晶圆片、晶棒而设计,此仪器为双工作位。
标准配置如下:GA, GC测角仪。
1、一侧用于测3--8英寸晶圆片111、100面,还可测晶棒参考面(110)等角度。
2、另一侧用于测直径5----8英寸,长800mm晶棒(111、100)晶面等角度。
主要参数:
项 目
参 数
晶棒直径
5---8英寸、最大11寸
晶棒长度
800 mm
样品板面积
43宽×112高mm
定向精度
±30″
数显方式
θ:度;分;秒;最小读数10″
显示器
外置立式
技术指标
符合YX-2参数。
尺 寸
1210×810×1420 mm
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