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高低温高真空探针台真空下无氧化原位电学表征

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：HCVP-2 原产地：中国大陆更新时间：2026/9/21 9:17:04

产品摘要：高低温真空探针台华测仪器研发生产，晶圆测试高低温真空探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯,号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数

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详细内容

高低温高真空探针台真空下无氧化原位电学表征

产品优势

真空-温度协同控制

真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换

超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。

精细测量能力

抗干扰设计：真空障蔽腔体降低电磁噪声，支持pA级（皮安级）微弱电流与µΩ级（微欧级）电阻测量

多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试

参数规格

腔体

样品台尺寸：2英寸 4英寸 6英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸 4英寸 6英寸

真空度：10⁻⁶torr

显微镜

X-Y-Z移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10µm / 1µm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/ 500万像素/ 1200万像素

公司介绍

Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument. It is a company engaged in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.

The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive perｆormance evaluation of sensors, etc.