晶圆微区探测变温探针台
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品牌名称：$brandModel.Title型号：HCCS-4 原产地：中国大陆 更新时间：2026/9/21 9:16:50
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详细内容
晶圆微区探测变温探针台
台体参数
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程：4英寸*4英寸（卡盘X-Y轴无间隙移动）
X-Y移动精度：1µm
样品固定：不低于4″卡盘，采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品，均单独控制，中间吸附孔下限可以选择250微米
针座平台：U型针座平台，可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测；带有锁定旋钮夹盘，可以附加单独的校准片载台
样品台调节：平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
显微镜参数
显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜，显微镜移动范围覆盖样品台；卡盘可做电极引出信号进行双面测试。
总放大倍率：16倍~100倍
变焦：0.8倍~5倍
CCD：带CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2µm
镜座：双目观察倾斜45°，双瞳距调节范围：52~75mm，倾斜360°旋转
X,Y,Z轴方向调节范围：＞50.8mm，调节精度小于2µm
工作距离：115mm，加装2倍辅助镜工作距离40mm
光源：带外置LED高亮无极调节亮度环形光源
温控参数
温度范围：室温~400℃
分辨率：0.1℃
控温精度：0.1℃
温度稳定性：±1℃
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument. It is a company engaged in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive perｆormance evaluation of sensors, etc.
热门标签：半导体材料测试设备,变温探针台,简易探针台
