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精密探针台 华测 探针测试台 半导体材料 MEMS芯片晶圆传感器测试
价格：￥ 电议
品牌名称：北京华测型号：Huace-4 原产地：中国大陆 更新时间：2026/9/21 9:16:36
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详细内容
产品参数
台体规格：
01.尺寸：6英寸/8英寸/12英寸
02.水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
03.X-Y移动行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸
04.X-Y移动精度：10µm/1µm
05.样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
06.针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座
07.平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm
08.背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
09.温度范围：-80℃~+400℃
10.温度精度：0.01℃/0.1℃/1℃
11.尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高
12.设备重量：约40/60KG
光学系统：
01.显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
02.放大倍率：16X-200X/20X-4000X
03.移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm
04.光源：外置LED环形光源/同轴光源
05.CCD：200万像素/500万像素/1200万像素
定位器：
01.X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm
02.移动精度：10µm/2µm/0.7µm/0.5µm
03.吸附方式：磁力吸附/真空吸附
04.线缆：同轴线/三轴线
05.漏电精度：10pA/100fA/10fA
06.固定探针：弹簧固定/管状固定
07.接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
08.针尖直径：0.2µm/1µm/2µm/5µm/10µm/20µm
09.针尖材质：钨钢；铍铜
探针可选配件：
01.加热台
02.显示器
03.转接头
04.射频测试配件
05.屏蔽箱
06.光学平台
07.镀金卡盘
08.光电测试配件
09.显微镜快速倾仰装置
10.激光系统
11.探针卡夹具
产品特点
01.可用于12英寸以内样品测试
02.采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
03.优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
04.可升降调节适合加装探针卡
05.可搭配多种类型显微镜
06.结构模块化设计，可无缝升级
06.探针台可根据客户要求定制
热门标签：Huace-4,精密探针台,MEMS芯片晶圆传感器测试
