华测 综合性分析探针台测试系统
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详细内容
华测 综合性分析探针台测试系统
Huace-8
一、产品介绍
华测综合性分析探针台测试系统可用于晶圆和PCB板测试,大可用于12英寸以内样品测试、操作便捷,功能其全,高效精准、可满足晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等;该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升功能。可广泛应用于集成电路、Wafer,LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究域。
探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
二、特点及应用
1、zui大可用于12英寸以内样品测试
2、同轴丝杠传动结构,线性移动
3、大手柄驱动,cao作舒适,无回程差设计
4、针座平台快速、微调升降功能
5、可搭配多种类型显微镜
6、晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等
7、结构模块化设计,可无缝升
8、cao作便捷,功能其全,高效精准 ;
9、探针台可根据客户要求定制。
三、台体规格参数
1、chuck尺寸: 8英寸/12英寸;
2、水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;
3、X-Y移动行程:8英寸×8英寸/12英寸×12英寸
4、X-Y移动精度:10微米/1微米;
5、样品固定:真空吸附固定,中心吸附孔,多圈吸附环;
6、针座平台:U型针座平台,多可放置10个探针座
7、平台升降:可快速升降6mm/可微调升降25mm
8、背电测试: 样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电
9、外形尺寸: 840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高
10、重量:约100千克/150千克
五、光学系统
1、CCD:200W/500W/1200W像素可选
2、显微镜类型:单筒/体视/金相显微镜可选
3、放大倍率:16X-200X/20X-4000X
4、移动行程:X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转,Z轴行程50.8mm
5、光源:外置LED环形光源/同轴光源
七、定位器规格
1、X-Y-Z移动行程:12mm*12mm*12mm;
2、移动精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;
3、吸附方式:磁力吸附/真空吸附;
4、线缆:同轴线/三轴线可选;
5、漏电精度:10pA/100fA/10fA;
6、探针固定:弹簧固定/管状固定;
7、接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等;
8、针尖直径:0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
9、针尖材质:钨钢/铍铜;
九、探针可选附件
加热台、显示器、光学平台、光电测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、屏蔽箱、镀金卡盘、高压测试配件、射频测试配件、转接头、探针卡夹具



热门标签:简易探针台,小型探针台,中端探针台,高低温探针台,真空探针台,













