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技术文章

非接触式静电电压表在 LCD 液晶面板生产电荷积累监测中的应用

点击次数:285 发布时间:2026/8/28 11:07:37

非接触式静电电压表在LCD液晶面板生产电荷积累监测中的应用

LCD液晶面板制程中,基板经过镀膜、光刻、剥离等多道工序,介质基板表面易积累静电电荷;过高的表面静电会击穿TFT栅氧,造成像素点损坏、面板亮点暗点不佳。传统接触式高压表探针会直接泄放基板表面电荷,无法获取真实表面电位。HCEV-30kV采用场消技术实现非接触测量,测物-被测面间距波动仍可维持测量准度,阶跃信号响应快,配备缓冲模拟输出,适合LCD产线基板表面静电电位在线监测。

一、LCD面板静电传统检测痛点

接触式测量会泄放基板静电荷,数据失真普通高压表测物接触基板瞬间,表面积累的静电电荷被直接泄放,无法得到基板真实表面电位,不能预判静电击穿风险。

测物与基板间距变化,读数发生大幅偏移普通非接触静电表产线传送带基板上下小幅抖动,就会造成读数剧烈跳变,无法用于流水线在线监测。

响应速度慢,无法捕捉工艺瞬态静电尖峰镀膜、等离子清洗工序会产生毫秒级瞬时静电峰值,仪器响应慢会丢失峰值信号,无法定位产生静电的工艺节点。

缺少缓冲输出,难以接入产线PLC闭环监控 没有低压复现模拟输出,只能本地目视读数,无法把静电信号接入产线控制系统实现超阈值警报。

零点漂移,长时间连续在线监测基线偏移产线24h不间断运行,仪器时漂温漂大,零点逐步偏移,静电风险误报、漏报概率上升。

二、场消非接触测量,间距扰动不影响测量准度

HCEV-30kV采用场消技术非接触测量直流/交流峰值电压,量程0~±30kV;即使测物与LCD基板表面出现3mm左右间距波动,依旧可以保证测量准确度,适配流水线传送带基板小幅抖动工况,测量过程不接触基板,不会泄放TFT基板表面静电荷,还原基板真实静电电位。整机准度优于满量程±0.1%。

三、高速阶跃响应,捕捉制程瞬态静电尖峰

1kV阶跃变化响应时间小于200μs,30kV阶跃10%-90%响应小于8ms,可以捕捉等离子处理、薄膜剥离等工序带来的瞬时静电尖峰,准确定位静电产生工序,为工艺参数调整提供依据。时间漂移低于100ppm /小时,温度漂移小于100ppm/℃,支持产线长时间不间断监测;配备10圈电位器零点控制旋钮,可定期减小系统零点偏移。

四、1/1000比例BNC缓冲输出,适配产线闭环监控

仪器具备电压监测缓冲输出,输出信号为被测电压的1/1000,输出阻抗<0.1Ω,噪声<20mV rms。可以直接接入产线PLC、数据采集卡,实现静电电压时序记录,设置电压阈值自动警报,当基板静电达到危险阈值触发预警,及时规避TFT栅氧击穿不佳。4½位LED显示屏,设备端同时可直观读取实时电压。3米长专用测物电缆,测物可以远程布置在产线工位,主机放置在稳定区域。


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