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技术文章

射频直流器件点测变温探针台

点击次数:844 发布时间:2026/4/9 9:38:56

射频直流器件点测变温探针台

产品介绍

探针台是一种辅助执行机构,把需要测量的器件放到探针台的载物台上,配合显微镜,X-Y移动器件,找到需要探测的位置;通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机可以得到所需要的电性能参数

产品参数

台体参数

水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置

X-Y移动行程:4英寸*4英寸(卡盘X-Y轴无间隙移动)

X-Y移动精度:1μm

样品固定:不低于4″卡盘,采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品,均单独控制,中间吸附孔下限可以选择250微米

针座平台:U型针座平台,可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测;带有锁定旋钮夹盘,可以附加单独的校准片载台

样品台调节:平台可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位

显微镜参数

显微镜环绕立柱旋转式设计,便于快速移动显微镜,显微镜移动范围覆盖样品台;卡盘可做电极引出信号进行双面测试。

总放大倍率:16倍~100倍

变焦:0.8倍~5倍

CCD:带CCD接口和0.4XC-mount;下限分辨率至2μm

镜座:双目观察倾斜45°,双瞳距调节范围:52~75mm,倾斜360°旋转

X,Y,Z轴方向调节范围:>50.8mm,调节精度小于2μm

工作距离:115mm,加装2倍辅助镜工作距离40mm

光源:带外置LED高亮无极调节亮度环形光源

温控参数

温度范围:室温~400℃

分辨率:0.1℃

控温精度:0.1℃

温度稳定性:±1℃


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