应用于半导体，光电、电子行业硅片、砂纸或石英硬模板等材料。

脱模剂蒸镀机，脱模剂镀膜烤箱技术数据:

设备名称 : 脱模剂蒸镀机

设备型号: JS-TMJ30

腔体尺寸：350×350×350（mm）或自定

材质： 优质SUS#304不锈钢

温度范围： RT+10-150℃

温度分辨率： 0.1℃

温度波动度： ≤±0.5

真空度： ≤133pa（1torr）

洁净度： class 100

电源及总功率： AC 220V±10% / 50HZ 2.5KW

控制仪表：人机界面

真空泵： 无油泵

脱模剂蒸镀机安装条件

环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；

周围无强烈震动；

无阳光直接照射或其它热源直接辐射；

周围无强烈电磁场影响；

周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；

百级洁净车间；

周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；

设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；

安装设备使用空开电源 ；