硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，半导体充氮烤箱​是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构。工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断路及超温报警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。

硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱用途

洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱技术参数

Ø 内箱分层：根据箱体内部大小而定

Ø 温度范围：RT＋10℃～250℃。

Ø 温度波动：<±1℃。

Ø 温度均匀：±2%（空载测试）。

Ø 温控装置：高精度P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

Ø 温控输出：SSR输出，品牌继电器，固态继电器。

Ø 测温装置：PT100 铂 电阻温度传感装置，测温精确。

Ø 内室材料：采用无磁性不锈钢；外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) 。

Ø 保温材料：玻璃纤维。

Ø 保护装置：超温保护器，无熔丝开关。

Ø 流 量 计：氮气专用转子流量计

晶圆充氮洁净烘箱

一. 概述

充氮洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

二．特点

1、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2、耐高温，可以达到和工作场所同样的洁净等级；

三.技术参数

1、主要技术指标

Ø 温度范围： RT（室温）+10～200℃；

Ø 温度偏差：≤±2.0℃；

Ø 升温速度：≥2℃/min；

Ø 洁净等级：千级以上

Ø 计时功能：具有独立的计时器，计时开关，计时报警器