精密高温真空烘箱 400度真空烤箱各行业用途

应用于精密电子元件、PI、CPI/PBO/BCB胶高温固化烘烤、封装固化烘烤、退火处理、LCP材料热处理、MEMS器件的热处理/银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，金属粉末材料干燥/存储，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

精密高温真空烘箱 400度真空烤箱结构特点

加热系统： 本系统采用电加热原理，采用微电脑智能 PID 调节仪实现闭环控制，调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的精确稳定控制，测温采用高精度热电偶。

真空系统： 由真空泵、真空组件、真空测量等组成；数显真空控制器，显示腔内相对压强并可根据工艺要求控制压力值。

充氮系统： 主要由氮气源、控制阀和喷头组成。作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气，从而最终替换空气，可达到无氧的空间。

控制系统： 控制模块是本系统的核心模块，它的作用是控制各个模块的动作和时序， 完成整个工艺过程；具备参数设定、工艺程序编写功能工艺过程可保存并输出；工艺结束提示音。

门封冷却系统： 水冷却循环系统，设备腔体密封圈配有水冷却保护系统。

精密高温真空烘箱 400度真空烤箱性能

内腔尺寸:350×400×350，450×450×450，500×600×750 ,700×800×9000，1200×1050×950(mm)等，多尺寸定制

设备材质：内箱采用SUS304（316L）不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑或SUS304不锈钢

温度范围： RT+30-450℃

升温速率： 1-8℃/min

降温速率：平均4℃/min

真空度： ≤100、10、1、0.1pa

操作模式：真彩触摸屏人机界面，多段式程序升温模式，可一键运行工艺

真空泵：双旋片真空泵、涡旋干泵、分子泵

腔门密封圈：采用耐高温硅橡胶密封圈，密封圈采用一体成型无缝加工，有水冷却装置:

状态指示灯： 配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态

程序容量： 可存储他10-99组程序，每组可编辑10-99段

洁净度： 设备采用无发尘材料生产，适用于百级无尘室

降温方式： 风冷

可选功能：

氧含量监测：≤5ppm

扫码枪录入信息

MES系统互联

热风循环装置