防腐型气相抗粘系统 表面改性超疏水设备典型应用

表面改性超疏水、亲水处理工艺

表面改性

MEMS表面抗粘合层

半导体制造和封装涂层

DNA微阵列

生物兼容性改性

亲水 微流体薄膜

疏水保护薄膜

提高表面粘附性

无机氧化物原子沉积

纳米压印：脱模剂全氟辛基三氯硅烷PFTS/全氟葵基三氯硅烷FDTS气相沉积

生物芯片：硅烷增粘气相沉积,KH-570硅烷偶联剂,甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,KH-550氨丙基三乙氧基硅烷

光电AR/VR的防粘膜沉积

防腐型气相抗粘系统 表面改性超疏水设备配置

温控系统：RT-200℃，高精度温控器+RSS回路控制，防超温保护装置

气路系统：1-3路选配。

反应腔室：耐高温、耐酸、碱、氯、氟化物腐蚀材料制成

真空系统：采用耐腐蚀无油真空泵维持低气压环境，可达1Torr以下

尾气排放：收集尾气，集中排放至处理管道

控制系统：人机界面，监控工艺参数。

安全系统：集成自动加注药液系统和微电脑控温模块，实现真空抽排、氮气置换、温度控制的全流程自动化‌。一键式操作界面支持多组程序存储，满足2英寸至12英寸晶圆，方片、碎片等的差异化处理需求‌。

上海隽思仪器，硅烷气相沉积设备包含增粘剂硅烷(HMDS等）、抗粘硅烷沉积、脱模硅烷（PFTS、FDTS）沉积、表面改性修饰硅烷处理等，精密热板、HMDS预处理系统烘箱、智能型HMDS真空预处理系统烘箱、MSD超低湿烘箱、无尘烘箱、洁净烘箱，氮气烘箱、无氧烘箱、无尘无氧烘箱、真空烘箱、真空储存柜、超低温试验箱、超低湿氮气烘箱等设备。