偶联剂KH-550涂胶机 偶联剂气相沉积系统机理

将KH-550/570/HMDS等硅烷增粘剂气相沉积在基底表面，从而增大产品表面接触角，增强表面两者之间的界面结合力。其分子结构中的硅氧烷基团能够与无机材料（如玻璃、金属、陶瓷）表面的羟基发生反应，形成稳定的化学键；而氨基基团则能够与有机材料（如树脂、塑料、橡胶）中的基团相互作用，增强两者之间的界面结合力。

偶联剂KH-550涂胶机 偶联剂气相沉积系统性能

容积:2-12寸产品cassette及碎片兼容，可定制

操作应用：1-4工位独立控制

温度范围：RT+20-200℃

真空度：≤1torr

自动化：电脑式控制+MES上机位控制

真空泵：无油涡旋真空泵

偶联剂气相沉积系统工艺：脱水干燥+气相蒸镀+尾气排放

可扩展功能：plasma等离子清洗一体机

优点：偶联剂用量节省95%，涂布更加均匀，可批量生产

适用行业：MEMS、滤波、放大、功率等器件，晶圆、蓝宝石、玻璃、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、砷化镓、铌酸锂、磷化铟、金刚石等第三代半导体材料、生物芯片、微流控器件镀膜前预处理。

上海隽思仪器可定制防腐型抗粘剂（脱模剂）蒸镀机，卷材憎水处理系统，表面超疏水蒸镀系统，表面修饰沉积系统。