智能型图形反转系统 图像翻转设备用途：

光刻图形反转是一种特殊的工艺，用于制作‌半导体器件。在曝光结束后，光刻胶中的图像与想要得到的图像是相反的，即曝光区域在显影后会形成孔洞而不是岛区。这种工艺主要用于制作孔洞结构，通过改变曝光区域和非曝光区域的相对分解率来实现。

智能型图形反转系统适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

智能型图形反转系统 图像翻转设备特点：

NH3监测,报警提示功能

工艺数据记录功能

程序锁定保护等功能

智能型图形反转系统 图像翻转设备技术性能：

1.尺寸（深*宽*高）

内腔尺寸：300×300×300

450×450×450（mm）（可定制）

2. 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用级不锈钢

3.温度范围：RT+50-200℃

4.温度分辨率：0.1℃

5.温度波动度：≤±0.5

6 真空度：≤133pa（1torr）

7.电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ，总功率约2.8KW

8.控制仪表：人机界面，一键运行

9.搁板层数：2 层

10.工艺气体：2/3路

11.真空泵：无油涡旋真空泵