洁净无氧烤箱 充氮洁净烤箱 高温固化烤箱核心参数与技术特性‌

‌温度范围‌：RT+20~200/400℃，控温精度±0.5℃，支持快速升温（>6℃/min）‌

‌洁净等级‌：Class 10~100级（百级洁净度过滤效率达99.99%），内腔采用304、316L不锈钢材质，密封防尘设计‌

‌氮气保护‌：充氮纯度≥99.999%，氧含量可低至10ppm以下，氮气压力调节范围0.01~0.60MPa‌

‌定制化配置‌：支持双箱独立控制、可视化窗口（可选）、不锈钢网板分层（可活动抽取）‌

‌二、产品结构与功能设计‌

‌箱体构造‌

外箱：防尘烤漆处理（冷轧钢板），或304、316L不锈钢材质，耐高温密封条‌

保温层：高密度陶瓷纤维，热能损耗降低30%‌

‌加热与控温系统‌

加热方式：覆套式无尘电热器，均匀加热，支持触摸屏程序控温‌

循环风道：水平送风+HEPA高效过滤，快速降温排气口自动风门设计‌

‌智能控制‌：支持MES等自动化通信端口，

内置计时报警功能，

氧含量实时监测（氧化锆分析仪）‌

洁净无氧烤箱 充氮洁净烤箱 高温固化烤箱应用场景与解决方案‌

‌半导体行业‌：晶圆脱泡、LCP纤维烘烤、光刻胶固化（如PI/BCB/PBO涂层）/晶圆退火、电子元器件制造（前烘、坚膜、墨点烘烤、备件烘烤等），减少微尘污染90%

‌新能源领域‌：锂电池材料高温干燥，氮气防氧化保护‌、新能源材料企业

‌医疗与科研‌：生物医药实验室，无菌实验设备干燥、无氧环境样品处理（符合ISO9001标准）‌

‌四、服务与保障‌

‌售后支持‌：提供设备调试、技术培训，终身维护

‌质量认证‌：执行CE、ISO9001/SEMI S2等标准