全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS真空烘箱的详细说明书@技术发布http://www.app17.com/c62303/products/d13079040.html
无氧化干燥烘箱，HMDS洁净烘箱，HMDS涂胶烘箱，HMDS预处理烘箱，HMDS无尘烘箱，HMDS真空系统

全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS真空烘箱的应用域：

在纳米压印工艺中，要求作为压印胶的聚合物和基底材料之间能有较强的附着能力，这样才能保证在退模过程中不会与基底脱离而导致结构被破坏;同时聚合物和模板之间应有尽可能低的界面能，以防止在退模过程中因聚合物与模板之间发生粘连影响压印质量用然可以通过选择合适的材料满足这样的要求。因此更多的是采用在模板上修饰抗粘层的办法。目主要有以下方法在模板上制备抗粘层。

硅烷涂胶机主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中HMDS增粘剂涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。

全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS真空烘箱的技术性能：

容量：1-12寸均可，300*300*300,450*450*450，600*600*600（mm）

硅烷添加剂：1-2种

内箱体材质：316L不锈钢

气体输入：1个（氮气）

工作温度范围：80-200/300°C

腔室压力控制：1tor~100tor

硅烷添加量：2 – 100mL

工艺选择：可同时设定5个工艺

正常运行时间：> 95％

涂胶原理：气相沉积法

真空泵：干泵

电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 3.5KW

控制方式：人机交互+PLC智能操作

操作方式：一键运行/手动操作

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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