HMDS真空烤箱，MES系统HMDS烤箱#2023动态已更新http://www.app17.com/c62303/products/d13073155.htmlHMDS
HMDS烘箱，HMDS真空烘箱，真空无氧烤箱，水冷无氧化烘箱，高温无尘无氧烘箱，洁净无氧烘箱，氮气无氧烘箱

真空烤箱，MES系统HMDS烤箱主要用途：
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

HMDS真空烤箱，MES系统HMDS烤箱特点：

1、具有MES接口,可连接MES系统；

2、有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员；

3、作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确；自动记录作业累计次数；

4、作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表。

MES系统功能：

为企业生产管理人员进行过程监控与管理、保证生产正常运行，控制产品质量和生产成本提供了灵活有力的工具。

1、正确掌握在制品数量，及不良品的追踪，降低在制品成本；

2、 用条形码追踪产品序号，提高产品的售后服务水平；

3、及时反应产品质量问题，追溯品质历史，提高产品治理；

4、 大幅减少现场手工作业，提高现场管理人员的生产力；

5、充分掌握工具、设备的使用状况，使制造资源高效运作；

6、 强大的统计报表为企业管理决策提供实时、准确、可靠的生产数据，提高公司核心竞争力。

HMDS真空烤箱，MES系统HMDS烤箱技术指标：

1、内部尺寸(mm)：350*350*350/450*450*450/550*550*650可定制尺寸

2、 材质： 外箱采用304不锈钢或优质冷轧板喷塑，内箱采用316L医用不锈钢

3、温度范围： RT+10-250℃

4、温度分辨率：0.1℃

5、 温度波动度： ≤±0.5

6 、真空度： ≤133pa（1torr）

7、 洁净度： class 100，设备采用无尘材料，适用100光刻间净化环境

8、 电源及总功率：AC 220V、380V±10% / 50HZ

9、 控制仪表：人机界面

10、 搁板层数：2层

11、 HMDS控制：可控制HMDS药液的添加量

12、 真空泵：旋片式油泵或进口无油泵

13、 保护装置： 低液位报警，HMDS药液泄漏报警，超温报警并断开加热，超温保护，漏电保护，过热保护等。

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。