HMDS烤箱，HMDS真空烘箱#2023动态已更新http://www.app17.com/c62303/products/d13061109.html

光刻胶固化氮气烘箱，热风型真空无氧烘箱，高温洁净真空烘箱，450度无氧洁净烤箱，6寸wafer无氧烘箱，高温百无氧化烘箱

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱的由来

半导体工艺中需要在各种衬底上进行光刻胶涂布，黏附性是否良好是大的问题。黏附差导致严重的侧面腐蚀，线条变宽，甚至有可能导致图形全部消失，湿法刻蚀技术要求光刻胶与下面的衬底有很好的黏附性。

提高光刻胶与衬底之间的黏附力有多个步骤：

a、涂胶进行脱水坚膜;

b、使用黏附促进剂，即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布;

c、高温后烘。

完成以上工艺仅用我司生产的HMDS真空烘箱即可。

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱

温度范围：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制仪表：人机界面，一键运行

储液瓶：HMDS储液量1000ml

真空泵：无油涡旋真空泵

HMDS真空烘箱也称为智能型HMDS真空系统 将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。