OAP烘箱，OAP处理烘箱的技术原理#技术报道http://www.app17.com/c62303/products/d13040851.html

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OAP烘箱，OAP处理烘箱的工艺

光刻的作用是把掩模版上的各形转换成晶圆十的器件结构，它对集成电路图形结构的形成，如各层薄膜的各形及掺杂区域等，均起着决定性的作用。光刻的基本流程中第.一步，处理就是需要将基片亲水性改为疏水性，即OAP(HMDS预处理)工艺。

OAP烘箱，OAP处理烘箱简介

OAP处理烘箱，也称为HMDS烘箱、HMDS预处理系统。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜进行表面处理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后尽快涂胶。OAP烘箱是采用气相成底膜的方式来完成HMDS的涂覆工艺，优点是，整个工艺在密闭的环境中，外界没有与硅片接触减少了来自液体HMDS颗粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指标

HMDS药液泄漏报警提示功能

HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

HMDS管道预热功能

程序锁定保护等功能

内腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）

材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用不锈钢

温度范围：RT+50-200℃

温度波动度：≤±0.5

真空度：≤1torr

HMDS控制：可控制HMDS 药液添加量

真空泵：无油涡旋真空泵

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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