碳化硅HMDS烘箱，SiC衬底HMDS烤箱操作方法#技术新闻http://www.app17.com/c62303/products/d12697577.html

无氧化干燥烘箱，HMDS洁净烘箱，HMDS涂胶烘箱，HMDS预处理烘箱，HMDS无尘烘箱，HMDS真空系统

碳化硅HMDS烘箱的背景

碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，也是目晶体生产技术和器件制造水平成熟，应用广泛的宽禁带半导体材料之一，目已经形成了全球的材料、器件和应用产业链。

碳化硅（SiC）是由硅（Si）和碳（C）组成的化合物半导体材料。其结合力非常强，在热、化学、机械方面都非常稳定。SiC存在各种多型体（多晶型体），它们的物理特性值各有不同。

碳化硅HMDS烘箱，SiC衬底HMDS烤箱的作用

HMDS烘箱将HMDS气相沉积至半导体制造中氮化镓（GaN）和、碳化硅（SiC）、硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

碳化硅HMDS烘箱，SiC衬底HMDS烤箱主要性能：

空间(mm)：300*300*300

450*450*450

600*600*600，可定制

适用产品：兼容1-12寸晶圆及碎片

温度范围：RT+10-250℃

温度稳定度：≤±0.5℃

真空度：≤133pa（1torr）

材质：316L不锈钢+冷轧板喷塑

HMDS系统：密闭设计，自动开启，数据可设定

液位计：低液位报警

储液瓶：HMDS储液量1000ml

真空泵：无油涡旋真空泵

运行时间：20Min

计量单位：S/Pa

运行方式：自动运行

进气：N2

排气：有机排放

电源：220V、50-60HZ

功率：2800W

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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