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上海隽思实验仪器有限公司

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PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱@2023价格已更新推荐

  • 参考价:咨询
  • 型号:
  • 品牌: $brandModel.Title
  • 所属地区:中国大陆
  • 原产地:-
  • 产品摘要:PI真空烘箱用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。

服务

  • 品质保障·资金安全·售后无忧

产品完善度:

更新时间:2026/11/6 9:45:38关注度:1268

关键词标签:PI真空烘箱,烘箱

支付方式:

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智能型HMDS预处理系统,泄露检测HMDS烘箱,HMDS预处理烤箱,HMDS光刻预处理系统,HMDS烤箱,实验室HMDS烘箱



PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱的用途:

PI真空烘箱用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。

在真空下操作可降低空间的湿分蒸汽分压而加速干燥过程,且可降低湿分沸点和物料干燥温度,蒸汽不易外泄,所以,真空高温无氧烘箱也适用于干燥热敏性、易氧化、易爆和有毒物料以及湿分蒸汽需要回收的场合。

PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱技术性能:

温度范围:室温+50~400/500℃

温度调节精度:±1.0℃

升温速率:1~8℃/m,可调

降温时间:350-90℃≤90min

氧浓度:≤10ppm

氧浓度到达时间:≤ 25分

内装:316L不锈钢板

外装:冷轧钢板,表面耐药品性涂装

断热材:陶瓷纤维

冷却机构:水冷+风冷

温度控制方式:PID控制

操作界面:液晶触摸屏+PLC

运行功能:手动定值运行、自动程序运行

程序模式:程序运行10个,每个程序可设置25步

PI真空烘箱,真空无氧PI烤箱特点

全自动真空固化,一键运行,无需人工值守

10PPM低氧气水平,在低气压下实现真空固化。

腔体内气流设计,改善了腔内洁净度,节约大量N₂消耗量。

温度控制均匀度为高,提高晶圆温度均匀性。

快速的加热和冷却性能,可减少工艺等待时间。

内腔所以材料均为316L不锈钢

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能、航空航天等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务!

主要业务项目有HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜加工设备,黑蒜发酵设备,环境检测仪器,实验室研究仪器,橡塑检测仪器,电缆检测仪器设备,半导体工艺设备,力学检测仪器,通讯检测仪器,常规检测仪器等。







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