PI固化炉用于光刻胶BCB，聚酰亚胺PI/CPI固化，LCP纤维热处理，晶圆干燥烘烤等工艺，主要用于集成电路、化合物半导体、MEMS微机电、TFT/LCD等半导体相关行业。

通用性，全自动运行真空固化，2寸-12寸/碎片兼容。

保证性强，可达5PPM氧气下实现真空固化。

时效性，多功能冷却方式，缩短了工艺时间，降低成本，提高生产能力。

能耗低，真空状态固化，节约了80%N₂量。

无污染，腔体内部所有材料均为316L医用不锈钢，无任何颗粒产生。

PI亚胺化厌氧炉，PI真空厌氧烤箱

温度：RT-350/450度

真空度：低于100Pa

操作：彩色人机界面，一键运行

冷却方式：水冷却+风冷

气路：2路N2

程序模式：程序运行10个，每个程序可设置25步

隔热材料：陶瓷纤维

工作腔：1/2/4/8可选

PI亚胺化厌氧炉工艺要求（参考）：

1. 在低氧状态下使用

2. 真空加热，升温至1xx℃

3. 再温至1xx℃(约xh),保温约 30min;

4. 继续升温至x00℃，视涂层厚度不同加热10-x0min

5. 保温 约60min；

6. 降温至100℃以下
   
   上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

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