热风真空烘箱主要用于BCB固化、PI固化、其他光刻胶固化、LCP热处理等工艺。真空烘箱为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥、快速脱氧。广泛应用于半导体行业、高分子新材料、生物化学、化工制药、医疗卫生、农业研究、环境保护等研究应用域。
热风真空烘箱，真空+鼓风一体烘箱特点
1、长方体工作室，使有效容积达到大。
2、钢化、双层玻璃门观察工作室内物体（高温设备无此功能），一目了然。

3、能够向内部充入惰性气体，自动控制通断状态。
4、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，具有高温保护装置。
5、工作室采用304不锈钢板制成，确保产品经久耐用。
6、储存、加热、固化和干燥都是在低氧或者充满惰性气体环境里进行，所以不会氧化。
7、热风循环：内置耐高温循环风机，从而温度均匀性更佳。
8、达到真空度：10Pa，数显真空度，可设定真空度，可编程序。

热风真空烘箱，真空+鼓风一体烘箱性能

控制方式：人机界面+PLC

控制范围： RT+50～250/450℃
温度波动度：±0.5℃
内部尺寸：定制

温度均匀性：±1.5%℃

真空度：10pa

热风真空烘箱，真空+鼓风一体烘箱可选功能：

氧浓度实时检测；

腔内多点温度检测；

快速降温功能；

无油真空泵；

真空泵冷却系统；

氮气过滤装置；