在纳米压印工艺中模具在进行压印要进行预处理，当模具压印光刻胶后脱模时，有2种可能，一种是模具可完全脱离，压印胶图形完整保留;一种是模具和压印胶粘在一起脱模过程中胶也被带起来，使得压印图形无法保留，而这些粘在模具上的胶也会污染模具。因此模具在使用，要涂一层抗粘剂，使得模具和压印胶之间的粘附

性变差，使脱模过程变得容易。

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机，抗粘剂气相涂布机适用范围

半导体，光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料，如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机，抗粘剂气相涂布机主要技术参数

3.1 工作室尺寸： 350×350×350（mm）

3.2 材质： 外箱优质SUS#304不锈钢，内腔采用316L医用不锈钢

3.3 温度范围 ：RT+20-450℃

3.4 温度分辨率： 0.1℃

3.5 温度波动度 ：≤±0.5

3.6 真空度： ≤20torr

3.7 洁净度 ：设备采用无尘材料，适用100光刻间净化环境

3.8电源及总功率 ：

3.9 控制仪表 人机界面

3.10搁板层数 1层

3.11真空泵 无油泵

3.12 保护装置 超温保护，漏电保护，过热保护等