您好，欢迎来到阿仪网！ 请登录 免费注册

搜本站 搜全网
诚信档案

上海隽思实验仪器有限公司

第13年
网站导航

product

当前位置：阿仪网    >  上海隽思实验仪器有限公司   >   产品展示    >  半导体设备    >   HMDS烤箱   >   光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机

光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机

  • 参考价：咨询
  • 型号：
  • 品牌： $brandModel.Title
  • 所属地区：中国大陆
  • 原产地：-
  • 产品摘要：光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机

服务

  • 品质保障·资金安全·售后无忧
在线询价 索取资料

产品完善度：

更新时间：2026/11/6 9:52:04关注度：830

关键词标签：光刻工艺HMDS镀膜机,功率MOS器件HMDS镀膜机

支付方式：

  • 支付宝 微信 银行转账
产品详情
光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机用途：
光刻胶倒胶缺陷对于终的产品良率有着大的影响。光刻胶倒胶缺陷的产生,很大一部分原因是由于晶圆表面接触角不佳。光刻的六甲基二硅胺烷(HMDS)涂布工艺正是改善晶圆表面接触角的关键步骤。
光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机特点：

1.HMDS是以气态形式气相涂布在器件（硅片、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、玻璃、陶瓷等材料）表面；

2.在显影过程中无需去除硅片表面的HMDS层；

3.在HMDS上面滴光刻胶甩涂时，光刻胶内的溶剂不会破坏HMDS层；

4.多余的HMDS蒸汽将由真空泵抽出，排放到用废气收集管道，不会造成环境污染；

5.所有制程都在密闭的腔体内完成，操做是不会接触到HMDS蒸汽，该设备具有HMDS药液泄漏检测报警装置；

6.可保存多个产品制程，制程工艺一键完成，无需值守人员。

光刻工艺HMDS镀膜机，功率MOS器件HMDS镀膜机技术性能：

1.设备品牌：隽思
2.工作室尺寸（mm）： 450*450*450，500*500*600 可定制

3 外形尺寸：以实物为准

4. 材质：设备内腔采用优质耐腐蚀、耐高温316L医用不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑或优质不锈钢，

5. 温度使用范围 ：80-200℃

6. 温度分辨率 ：0.1℃

7. 温度波动度： ≤±0.5

8. 真空压力： ≤100pa

9.数据记录：可记录温度、压力等工艺数据

10.工艺安全：具有温度锁定功能

11.管路加热：药液输送管道可预热

12. 控制模式 ：人机界面+PLC

13.药液瓶 ：优质耐压防爆型

14. 药液控制 ：可控制HMDS药夜添加量

15.真空泵：旋片式油泵或涡旋干泵

16. 保护装置：HMDS药液泄漏检测装置，HMDS自动添加，超温保护，漏电保护，过热保护等

返回顶部

点击询价

联系方式

产品解决方案




相关文章

推荐产品


联系方式

联系人：魏先生
电 话：18016281599
手 机： 18016281599

联系我时，告知来自 阿仪网

至尊版拥有网站

至尊版地址：www.jshmds.com

公司网址：https://www.app17.com/c62303

手机商铺：https://wap.app17.com/c62303

手机网站:m.jshmds.com

主营产品

HMDS预处理系统，智能HMDS烘箱，无氧化烘箱，真空无氧烤箱，氮气烘箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，高精度加热台，精密恒温热板，烤胶台，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，氮气柜，半导体工艺设备。黑蒜加工设..

关注我们

扫码关注我们!
阿仪网 设计制作，未经允许翻录必究.Copyright(C) 2009 https://www.app17.com, All rights reserved.
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，阿仪网对此不承担任何责任. 总关注度：1788141

快速导航

返回顶部
在线咨询5分钟应答

提交