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HMDS Coater（HMDS 涂布机）的应用

发布时间：2012/8/3 17:02:30关注度：3528

HMDS Coater（HMDS 涂布机）用途：


HMDS Coater是通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS Coater（HMDS 涂布机）技术指标：


1、设备名称

HMDS Coater（HMDS 涂布机）

2、设备型号

JS-HMDS90-AI/MES

3、设备主要技术参数

3.1 尺寸（深*宽*高）

内腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制

3.2 材质

外箱采用冷轧板喷塑，内箱采用316L医用不锈钢

3.3 温度使用范围

80-200℃

3.4 温度分辨率

0.1℃

3.5 温度波动度

≤±0.5

3.6 真空度

≤133pa（1torr）

3.7 洁净度

设备采用无尘材料，适用100光刻间净化环境

3.8电源及总功率

AC 220V±10% / 50HZ 总功率约3.5KW

3.9 控制仪表

人机界面

3.10搁板层数

2层

3.11 HMDS控制

可控制HMDS药液添加量

3.12真空泵

无油涡旋真空泵

3.13 保护装置

HMDS药液泄漏报警装置，HMDS低液位报警提示，超温保护，漏电保护等。

原创作者：上海隽思实验仪器有限公司


关键字：HMDS Coater（HMDS 涂布机）

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