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公司新闻
测量技术的发展趋势
点击次数：1180发布时间：2012/11/1 13:41:51
测量技术与仪器涉及所有物理量的测量，对于材料、工程科学、能源科学关系密切。（德国索特测量仪器）目前的发展趋势有以下几点：
第一，以自然基准溯源和传递，同时在不同量程实现国际比对。如果自己没有能力比对就要依靠其它国家。
第二点，是高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm，并正向0.18μm过渡，2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3，那么就要求10nm量级的精度，而且晶片尺寸还在增大，达到300mm。（德国科恩天平）这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方，相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
第三是高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上，上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领，其原因是后者的速度达到了1m/sec。
第四，高灵敏，高分辨，小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上（岛韩实验室仪器）。
第五，标准化。通讯接口过去常用GPIB，RS232，目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。现在，技术领先者设法控制技术标准，参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。
