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高温、高精度温度计在日本开发成功
点击次数：1279发布时间：2016/9/18 14:22:07
以往，在半导体制造等需要对温度进行准确测定的场合，都是采用以白金（铂）
丝为传感器的白金电阻温度计。然而，在1000 ℃附近的高温区，白金的电阻率并不稳
定，而且白金丝自身也会产生热扭曲，所以很难实现高精度测量。
最近，日本产业技术综合研究所的研究组与CHINO株式会社合作成功研发出能够在
1000℃附近高温区准确测定温度的白金电阻温度计。
为了开发在1000 ℃高温区也能具有稳定电阻率的温度传感器，课题组对市场上销
售的白金电阻温度计进行分析研究后，对其传感器进行适当的热处理，再利用日本国
家标准的水三相点装置和银凝固点装置反复进行热循环试验，分析不同温度下的电阻
值变化情况。结果发现，经过热处理后，铂温度传感器在1000 ℃附近的电阻变化实现
最小化，温度计性能更加稳定。此外，通过对铂丝的结构进行调整优化，使其热扭曲
程度得到减轻。
新开发的温度计在银凝固点的961.78℃，测量值变动范围为±0.001度（以前为
0.01度）；在水三相点的0.01℃，测量值变动也稳定在±0.0005度以内，达到世界最
高水平。
