液体颗粒计数器在半导体超纯水系统中的实践应用

半导体、光伏、平板显示制造领域，超纯水是晶圆清洗、硅片冲洗、基板清洗、设备冷却的核心工艺介质。半导体制程之下，即便是亚微米级别微小颗粒，附着在晶圆表面，就会造成电路短路、图形缺陷，直接拉低芯片生产良率，超纯水颗粒监测是电子工厂厂务端至关重要的质控环节。

超纯水制备全流程都存在颗粒污染风险，预处理、反渗透、EDI、混床、终端超滤、循环输送管路、各工艺用水点，树脂碎屑、滤芯脱落物、管路析出物、空气带入粉尘，都会造成超纯水颗粒突然升高。电阻率、电阻率仪表只能反映离子水平，无法捕捉微量固体颗粒，液体颗粒计数器成为超纯水系统不可或缺检测设备。

液体颗粒计数器部署在产水回路、循环管路、各个工艺使用点位，可实时监测超纯水颗粒浓度变化，一旦颗粒异常升高，快速定位污染发生工段。同时用于评价终端超滤滤芯过滤性能，科学确定滤芯更换周期，既防止滤芯失效带来批量产品报废，也避免频繁更换滤芯带来不必要生产成本。离线模式可用于实验室对超纯水取样抽检，完成系统周期性验证工作。

光伏电池片生产，硅片清洗用水颗粒杂质会影响电池转换效率；显示面板行业，超纯水颗粒会造成玻璃基板镀膜黑点缺陷，同样需要液体颗粒计数器开展常态化颗粒管控陕西普洛帝...。超纯水介质颗粒浓度极低，对仪器基线噪声、抗气泡干扰能力要求严苛。普洛帝 PMT‑2 液体颗粒计数器采用惰性无析出流路，第八代双激光窄光传感器适配超纯水低颗粒背景，满足 SEMI 相关规范，支持 7×24 小时长期在线运行，为电子制造超纯水系统提供稳定可靠颗粒检测数据。

液体颗粒计数器, 液体颗粒计数仪, 液体颗粒分析仪

已获得阿仪网信誉 等级评定

企业档案

已获得阿仪网信誉 等级评定

技术文章

液体颗粒计数器在半导体超纯水系统中的实践应用

液体颗粒计数器在半导体超纯水系统中的实践应用

相关信息

推荐产品

已获得阿仪网信誉等级评定

已获得阿仪网信誉等级评定