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液体颗粒计数器在光刻胶检测中的应用

点击次数：2831 发布时间：2024/4/8 9:59:55

1、概念：光刻胶（Photoresist）又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

2、作用：光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要域。

3、现状：低端光刻胶国内企业基本能自给自足，但光刻胶基本被国外巨头垄断，应用于7nm以下的EUV光刻胶技术国内更是处于空白，国产化道路可谓任重道远。

4、检测仪器：电子光刻胶的别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小，4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。

普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器，可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。

5、检测流程：在十环境里（可以用十清洁台达到十检测环境的目的），将PMT-2 置于实验台上，取＞10mL的样量，设置5钟检测一次。检测3次，去除第1次检测结果，取后2次检测结果的平均值为检测结果。

6、注意事项：

确保PMT-2 检测的准确性。

检测，用实验用水冲洗整个进液、出液管路。

检测环境达到十，将二次污染减小到小几率。

操作人员穿戴洁净服、佩戴洁净手套、帽子、口罩。做好防护。

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