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技术文章

PMT-2十大应用之---电子硫酸的颗粒管控

点击次数：2854 发布时间：2023/10/18 11:17:54


电子硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒，无机残留物和碳沉积物。

电子硫酸管控有2个难点，一个是硫酸的腐蚀性，一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子硫酸的腐蚀性很强，这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测，接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测，稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题，都是给电子硫酸检测无形中增加了麻烦。

针对这2个问题，普洛帝研发团队经过反复试验，攻破了这2个难点，将电子硫酸的检测浓度提升到98%。在高浓度强酸性的情况下，依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号PMT-2，选用0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器，实现了电子硫酸的颗粒管控目的。目，已经在江苏、广东等地的电子硫酸生产企业得到了应用。

技术参数：

订制要求：各类液体检测要求；

传感器：第八代双激光窄光检测器；

测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；

测试标定：JJG1061或乳胶球或ISO21501；

操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；

检测范围：0.1-0.5um、0.1-1.0um；

特殊检测：自定义1~100μm或者4~70µm（c）微粒，0.1μm或者0.1µm（c）任意检测；

进样精度：<±1%

重合精度：1000粒/mL（2.5%重合误差）；

模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）；

报告方法：颗粒数/ml及污染度等；

输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。

颗粒计数器

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