AE射频电源

美国AE　Advanced Energy RF电源 Paramount 射频功率输送系统这款半机架的3kW 的 Paramount 射频 RF 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比 VSWR 超过3:1），为您带来的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到毫秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正的精确性、可重复性和对制程的控制。 Apex 射频供电系统通用 Apex 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现。
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