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全自动硅片超声波清洗机

全自动硅片超声波清洗机

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价格:¥1

更新日期:2026/3/6 13:36:36

生 产 地:中国大陆

产品型号:LSA-F599

简单介绍:硅片清洗机

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详细内容

硅片超声波清洗机优点
(1)硅片经过磨片工序后,一直使硅片处于去离子水中浸泡状态,这样在经过清洗机清洗后表面洁净,在化抛后尤为明显,化抛后硅片表面相当光泽干净,使其合格率大大提高;若由于工艺需要测试硅片厚度或电阻率,使其脱离水后,在重新清洗后的硅片化抛时,表面大多数会出现暗花及不明显的污染痕迹,直观表面较差。
  (2)清洗次数对清洗效果有很大影响,清洗次数多的硅片比清洗次数少的硅片表面光洁,这就要求在以后的探索中如何控制清洗液的时效性,如清洗四英寸硅片达500片时,需及时更换清洗液。
  (3)适当加入有机碱,利用碱的腐蚀性,络合硅片表面的金属离子,以加快清洗的速度,提高清洗的效率。 硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中最困难的。由于使用了清洗机,通过物理渗透作用,使污染颗粒脱离硅片表面,再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用,最终去除污染颗粒,达到了清洗硅片的目的。
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