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IVEA 微米尺度空间分辨率LIBS测试系统

IVEA 微米尺度空间分辨率LIBS测试系统

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更新日期:2026/9/8 3:31:34

生 产 地:欧洲

产品型号:

简单介绍:微米尺度空间分辨率LIBS测试系统—MEEPLIBS
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析,实现了与传统的显微镜实现完美结合,标准分析口径大小为15微米和18微米(最小可做到4微米),可在室温大气环境中测试,也可在特定的环境中测试。广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。

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详细内容

系统特点:

  • LIBS分析与目视检测显微镜的相结合
  • 266nm紫外激光光源 20Hz
  • 分析口径:15µm 或8µm ( 最小可到4µm)
  • 具有配置衰减器的激光光束整形功能
  • 系统中配置摄像机
  • 配置自动三维调节台可用来校准激光
  • 聚焦和对样品进行序列测量

​测试实例:



技术参数

激光器类型 脉冲Nd:YAG
波长 266nm
频率 20Hz
激发光能量稳定性 ± 5% RMS up to 1mJ (on 100 shots)
波长范围 180 to 950 nm(取决于所选的光谱仪)
探测器类型 ICCD
激光器出射光直径 15 µm or 8 µm
探测极限 ppm—几千ppm(取决于所测试元素种类)
数据获取时间 <1s
集成式显微LIBS操作软件 可在X、Y、Z三轴上控制分析排序
通过软件可设置的参数类型:激光能量、激光脉冲、延迟时间及门控
可实现自动或手动处理的数据包括:波峰的自动识别、曲线校准组件、定量及定性分析、通过PCA模块及组件可对材料进行元素分析。

IVEA,微米尺度空间分辨率LIBS测试系统

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