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压电偏摆/旋转台 压电偏摆台,压电偏转台,压电旋转台,压电偏摆旋转台

压电偏摆/旋转台 压电偏摆台,压电偏转台,压电旋转台,压电偏摆旋转台

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价格:¥电议

更新日期:2020/4/13 10:35:22

生 产 地:中国大陆

产品型号:P54

简单介绍:P51 压电偏转台内置高性能压电陶瓷, 采用无摩擦柔性铰链结构设计,采用有限元分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统,具有超高的导向精度,高刚度、大负载能力、Z向、θx、θy偏转运动台,内置高性能传感器全闭环位置反馈、确保纳米级的控制精度与定位精度、超薄的结构设计、中心大通孔可集成于显微扫描系统。

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详细内容

P54 系列是中心通孔二维 θxθy 轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm 中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特点:
• θx, θy 偏摆运动
• 开环 / 闭环可选择
• 80×80mm 大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 适于加速度 / 角速度传感器标定

闭环传感精度高:
P54 系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使角度偏移达到最小,无空回、无摩擦。
采用压电陶瓷驱动实现最大偏转范围 ±1mrad,分辨率高达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。
台 体 非 常 薄, 厚 度 仅 为 20mm, 中 心 通 孔 尺 寸 为80×80mm,P54 压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的最佳选择。

技术参数:

型号

尾缀S-闭环

P54.T2S

P54.T2K

单位

尾缀K-开环

运动自由度

θx,θy

θx,θy

运动和定位

标称偏转角度范围(0~+120V)

±0.8

±0.8

mrad/轴±20%

偏转角度范围(-20~+150V)

±1

±1

mrad/轴±20%

传感器类型

SGS

-

偏转分辨率

0.25

0.05

µrad

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

机械性能

推/拉力

40/8

40/8

N

运动方向刚度

0.5

0.5

N/µm±20%

空载谐振频率

0.3

0.3

kHz±20%

空载阶跃时间

20

3.5

ms±20%

空载工作频率*

10%行程

50

>50

Hz±20%

100%行程

15

>15

承载能力

1

1

kg

驱动性能

静电容量

3.6/轴

3.6/轴

μF±20%

其它

工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

材质

钢、铝

钢、铝

外形尺寸(长×宽×高)

125×125×20

125×125×20

mm

通光孔尺寸(长×宽)

80×80,4×R10***

80×80,4×R10***

mm

重量

510

510

g±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器****

LEMO

LEMO

*若此工作频率已非常接近或超过谐振频率,建议在远小于谐振频率以下使用,若必须在此频率下工作,输入电压一定要足够小,请务必从最小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制超低温版本及超高真空版本。
***代表通光孔4个角弧形半径为5mm。
**** 连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

www.coremorrow.com
联系人:杨明远
电话:189-4463-6468
压电偏摆台

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