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压电扫描台 中空式压电扫描台，压电扫描台，中空式压电扫描台，PZT压电移相器，压电移相器，压电相移器，压电纳米扫描台
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价格：￥电议
更新日期：2018/7/4 14:26:24
生 产 地：中国大陆
产品型号：P78.Z100S/K-D1
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详细内容
中空式压电扫描台是移动台面有透空通孔的直线压电平台，可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率，且具有非常优秀的运动线性度和平面度，及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别，例如生物识别技术。而且，它具有一个独特的特点，在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。
中空式压电扫描台主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。如扫描探针显微（例如AFM原子力显微镜）、纳米定位、计量、生物学研究、微电子、微操作、精密控制等。压电扫描台中心具有通孔，台体集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位，生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式，最大运动范围可达370μm。
P78.Z100S/K-D1 压电显微样品台
P78 压电扫描台是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的一维 Z 轴压电扫描台，它的外形结构易集成于显微仪器设备中。
特点：
• 一维 Z 向运动
• 行程范围 100µm
• 分辨率达 4nm
• 通孔尺寸为 120×70mm
应用：
技术参数：
| 型号 | S-闭环 | P78.Z100S-D1 | P78.Z100K-D1 | 单位 |
| 运动自由度 | Z | Z |
| |
| 运动与定位 | ||||
| 行程范围（0 ~+120 V） | 80 | 80 | µm±20% | |
| 行程范围（-20~+150 V） | 100 | 100 | µm±20% | |
| 传感器类型 | SGS | - |
| |
| 通孔尺寸 | 120×70 | 120×70 | mm | |
| 分辨率 | 7 | 4 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.2 | - | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | |
| 机械性能 | ||||
| 运动方向推/拉力 | 120/15 | 120/15 | N | |
| 运动方向刚度 | 1.5 | 1.5 | N/um±20% | |
| 空载谐振频率 | 200 | 200 | Hz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 30 | 5 | ms | |
| 空载工作频率 | 10%行程 | 50Hz | 50 | Hz±20% |
| 100%行程 | 15 | 15 | Hz±20% | |
| 承载能力 | 1 | 1 | Kg, max | |
| 驱动性能 | ||||
| 静电容量 | 5.4 | 5.4 | μF/轴±20% | |
| 其他 | ||||
| 工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
| 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 |
| |
| 外形尺寸（长宽高） | 154×136×25 | 154×136×25 | mm | |
| 重量 | 560 | 560 | g±5% | |
| 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
| 传感/电压连接器 | LEMO | LEMO |
| |
*若此工作频率已非常接近或超过谐振频率，建议在远小于谐振频率以下使用，若必须在此频率下工作，输入电压一定要足够小，请务必从最小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制超低温版本及超高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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联系人：杨明远
电话：1894463-6468
