产品展示
微小气体质量流量计,气体质量流量控制器
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价格:¥6800
更新日期:2026/6/15 20:03:36
生 产 地:中国大陆
产品型号:G100C
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详细内容
G100C质量流量计/控制器
应用领域
Fields of Application
□气相和液相色谱仪
□半导体工艺
□环境监测设备
□微反应装置及材料制备实验装置( CVD)
□气体发生器
□配气混气系统
□生物发酵
功能 | 说明 |
流量控制 | 可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制 |
累计流量 | 可通过Modbus-RTU协议读取累计流量 |
多种量程选择 | 最小量程10 SCCM,最大量程20 SLPM |
内置40种基本气体 | 内置40种基本气体,气体种类可定制 |
10种自定义混合气 | 可根据使用需求,自定义混合气 |
数字控制 | 使用RS-485通信控制 |
模拟控制 | 使用0~5V/4~20mA信号控制 |
标准Modbus-RTU RS-485通信采用标准Modbus-RTU通信协议 | |
参数自整定 | 可辨识负载变化,自动调整至最佳PID控制参数 |
设定值记忆功能 | 开启该功能后,MFC可记录断电前一次设定值,再次通电直接执行该设定值 |
阀控功能 | 可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能 |
多台设备串联 | 通过更改 通信 地 址 ,可实现多台设备串联控制 |
自定义波特率 | 可通过Modbus-RTU设置自定义波特率 |
选型参考
Selection Reference
1 | 2 | 3 | 4 |
基本型号 | 量程范围 | 使用方式 | 材质 |
G100C=数字 G100CV=模拟0~5V G100CA=模拟4~20mA | 050=50sccm 100=100sccm 500=500sccm 1L=1000sccm 5L=5000sccm 10L=10slpm 20L=20slpm | P=正压使用 N=负压使用 | 1=铝基座 2=不锈钢基座 |
● 以上为常规型号产品,可根据使用情况进行定制

