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微小气体质量流量计,气体质量流量控制器

微小气体质量流量计,气体质量流量控制器

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价格:¥6800

更新日期:2026/6/15 20:03:36

生 产 地:中国大陆

产品型号:G100C

简单介绍:G100C质量流量计/控制器是层流差压式气体流量计,精度高,响应速度快,稳定性好,适用在半导体,生命科学,生物产业等行业。

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相关标签:气体流量计,微流量气体质量流量计,氧气质量流量计

详细内容

G100C质量流量计/控制器

应用领域

Fields of Application

□气相和液相色谱仪

□半导体工艺

□环境监测设备

□微反应装置及材料制备实验装置( CVD)

□气体发生器

□配气混气系统

□生物发酵

功能

说明

流量控制

可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制

累计流量

可通过Modbus-RTU协议读取累计流量

多种量程选择

最小量程10 SCCM,最大量程20 SLPM

内置40种基本气体

内置40种基本气体,气体种类可定制

10种自定义混合气

可根据使用需求,自定义混合气

数字控制

使用RS-485通信控制

模拟控制

使用0~5V/4~20mA信号控制

标准Modbus-RTU RS-485通信采用标准Modbus-RTU通信协议

参数自整定

可辨识负载变化,自动调整至最佳PID控制参数

设定值记忆功能

开启该功能后,MFC可记录断电前一次设定值,再次通电直接执行该设定值

阀控功能

可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能

多台设备串联

通过更改 通信 地 址 ,可实现多台设备串联控制

自定义波特率

可通过Modbus-RTU设置自定义波特率

选型参考

Selection Reference

1

2

3

4

基本型号

量程范围

使用方式

材质

G100C=数字

G100CV=模拟0~5V

G100CA=模拟4~20mA

050=50sccm 100=100sccm

500=500sccm

1L=1000sccm 5L=5000sccm 10L=10slpm

20L=20slpm

P=正压使用

N=负压使用

1=铝基座

2=不锈钢基座

● 以上为常规型号产品,可根据使用情况进行定制


气体流量计,微流量气体质量流量计,氧气质量流量计

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