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晶圆镀膜机HMDS气体检漏仪
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价格：￥电议
更新日期：2026/10/15 9:00:51
生 产 地：中国大陆
产品型号：XS-FX80-HMDS
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详细内容
XS-FX80-HMDS 晶圆镀膜机HMDS气体检漏仪
一、产品作用
在晶圆镀膜工艺中，HMDS气体检漏仪是保障生产安全与产品质量的关键设备，该气体用于增强光刻胶与晶圆表面的粘附力。若HMDS在工艺过程中发生
泄漏，会导致浓度异常，直接影响疏水薄膜的形成质量，造成光刻胶脱胶、图形转移失败等缺陷，从而降低产品良率。检漏仪能实时监测浓度，确保工艺稳定。
同时HMDS蒸气易燃、有毒。检漏仪能全天候监控泄漏，防止因蒸气积聚引发爆炸或人员中毒，是企业满足安全合规要求的必要安防装备。
二、产品特点
★ 主体和探头部分均采用可插拔智能探头设计，售后维护更方便
★2.4英寸工业级高清彩屏，显示内容更
★外置大功率无线LORA模组，传输距离更远
★红外遥控器，可以实现在危险场合免开盖操作
★低报、高报、故障三组开关量输出
★外置高分贝防爆型声光报
★智能一键消音，方便快捷
三、产品参数
被测气体：六甲基二硅氮烷（HMDS）
检测原理：HMDS专用PID光离子
采样方式：扩散式或管道式
显 示：2.4英寸TFT液晶显示屏
量 程：0-20/200 /2000ppm 或其它量程
分 辨 率：0.001/0.01ppm
重 复 性：≤±2%
线性误差：≤±1%
精 度：≤± 2 % F.S.
气压范围：860～1060hpa
功 耗：＜5.0W
工作/温湿度： -20℃～60℃，0～95%RH（无凝结）
继 电 器：低报/高报/故障三组开关量输出（选配）
线性误差：≤±1%
供电电源：12～36VDC
信号输出：RS485 和4～20mA （三线制），支持选配LORA、ZIGBEE、NB-IoT、4G、GPRS等
连接螺纹：M20*1.5内螺纹，可选 G3/4、G1/2、1/2NPT、3/4NPT
防爆等级：Ex db IIC T6 Gb
防 护：IP66
主体材料：ADC12铝合金 约1.2kg（304/316不锈钢选配）
执行标准：GB/T 50493-2019 石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准
四、工作原理
晶圆镀膜机HMDS气体检漏仪是一种用于检测气体浓度的仪器，其工作原理主要是通过将气体传感器采集的物理或者化学非电信号转化为电信号，再通过外部电路对电信号进行采集及处理。
当检测到气体浓度超过报警设定值时能自动启动外部设备（如排风机、电磁阀、声光报警器等）,以及实现远程联网实现集中显示气体浓度等功能。根据检测气体种类的不同，检测技术原理也不同。
主要有电化学、催化燃烧、紫外电离、红外、热导、半导体、激光等原理。
