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TMC STACIS®4商用主动隔振系统
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价格：￥电议
更新日期：2026/8/13 13:27:27
生 产 地：中国大陆
产品型号：
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详细内容
起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。
STACIS 4包括新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。
STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了的控制算法和新的专有技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™专有技术相结合时，STACIS 4在2hz时可减少40 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少xx。下面包括STACIS 4的完整性能规格。
STACIS 4的优点：
由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS 没有一般气垫式减振器所面临的稳定性与过大位移的缺陷。与气垫式减振器不同的是，STACIS能很好地与设备内部已有的气垫减振系统兼容，使得两个系统各自发挥最大功效，优化减振效果。
STACIS系统使用独特的串联式设计与高压压电技术，能在0.35赫兹到150赫兹的宽频内有 *效提供主动消振，并且在2赫兹以上消减95%的振动。
比STACIS III更好的振动控制
与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了40 dB以上。
稳定的串联设计允许使得您安装后即可忘记它，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。
STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少4个VC等级的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 µin./s, 12.5 µm/s RMS)
规格
Performance Specifications
| 主动减振自由度 | 6 |
| 主动减振频段 | 0.2 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz 垂直和水平 |
| 有效主动谐振频率 | 0.35 Hz |
| 在1 Hz的减振 | 85% - 96% |
| ≥2 Hz的减振 | ≥99% |
| 10 磅（4.5 千克）分段输入后的安定时间（10:1 减少） | 0.2 秒 |
| 内部噪音 | ＜0.05纳米RMS |
| 单个隔振器的工作负载范围 | 低负载：400-1100 磅（182-500千克） 中负载：900-2100 磅（410-955千克） 高负载：1900-4500 磅（864-2045千克） |
| 刚性 （1000 磅 / 454 千克 重量，中负载的隔振器） | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) |
| 距离隔振器4英寸（102 毫米）处的磁场释出 | ＜0.02 µG 宽频 RMS |
隔离设计，尺寸，环境和实用要求
| 环境与安全 | 通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准 |
| 主动隔振单元 | 压电元件由高压放大器驱动。垂直作动器支撑被隔离的有效载荷。 |
| 被动隔振单元 | 单一各向同性弹性体（不需要压缩空气 |
| 振动传感器 | 检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号 |
| 主动反馈控制回路 | 在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减 |
| 隔振器尺寸 （宽x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸 300 x 320 x 275 毫米 |
| 隔振器重量 | 75磅（34千克） |
| 操作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 80%最大湿度为华氏68度（20摄氏度），最大露点：18摄氏度 |
| 系统电源要求 | 100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE认证 |
| 每个系统的隔振器数量 | 最少3个 |
| 选项 | 层压式不锈钢平台，框架， 垫高模块，调平装置，防地震钩，卡扣式装配 |
DC-2020 控制器规格
| 尺寸（宽x深x高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸. 483 x 216 x 45 毫米 |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 处理器 | 150/75 MHz双核 |
| 采样率 | 10 kHz |
| 模拟输出 | 16频道 |
| 模拟输入 | 16频道 |
| 状态指示灯 | 单个LED灯 |
| 前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个Ethernet RJ-45 2个BNC |
| 后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个Ethernet RJ-45 1个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器 |
| 用户界面 | 前面板液晶显示器 终端程序上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式Ethernet GUI |
