气体流量计

爱拓利创立于2012年，是一家质量流量计和控制器专业研发制造商，专注于微小气体流量测控。爱拓利拥有完全自主知识产权的质量流量计和控制器产品，其核心部件毛细管柱式流量传感器、层流差压式流量传感器、高精度微型比例阀等已实现100%自主研制，核心生产设备100%自主研制、全制程自主可控。公司具备ISO9001质量管理和制造认证，通过标准化生产、规范化管理，爱拓利持续稳定地为客户提供高质量的合格产品；并根据客户应用场景提供定制化的产品和解决方案，满足多种需求。

◆产品系列：热式气体质量流量计/控制器，层流差压式气体质量流量计/控制器

◆产品应用领域半导体，光伏，光纤，FPD，真空镀膜，新能源电池，分析仪器，生物制药，制配气、化工、食品、工业自动化等领域。

气体种类：90+种气体可选

测量范围：0.5%F.S. – 100% F.S. (1:200)

控制范围;：1%F.S. – 100% F.S. (1:100)

准确度：1% F.S.

工作压差：0-1 MPa

耐压：3 MPa

控制响应时间<5s

阀门类型:常闭阀

预热时间：5 min（T95)

量程范围：0-2 sccm…30slpm

显示屏： 内置/外接显示屏

可选通讯方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232,

CAN标况:20℃， 1atm