气体质量流量控制器

MFC300系列 使用MEMS传感器原理，该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点

流量规格：0-5, 10, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM1, 2, 3, 4, 5 SLPM

显示精度：0.1 SCCM (0.01≤50SCCM可选)

准 确 度：±0.5% F.S.

线 性 度：±1% F.S.

重复精度：±0.5% F.S.

响应时间：≤ 300ms

工作压差：0-1 MPa

耐 压：1.1 MPa

环境温度：0-65 ℃

使用湿度：0-98% 无凝露

电气连接：DB9

输出信息：4-20mA, 0-5Vdc，RS232, RS485, RS422,CAN (数字协议带电气隔离)

电 源：15 ~ 40 Vdc

气路管径：3-3.2mm, 4mm, 6mm, 8mm, 1/8”, 1/4”

标准气路接头：快插,快拧, 卡套, VCR

密封件材质：氟橡胶

气路部件材质：黄铜，SUS304

可测量气体种类：Air, He, Ar, N2, O2, H2, NO, CH4, NH3, CO2