毛细管热式气体质量流量计

MFC350 系列为升级的毛细管热式气体质里流量计/控制器。

350系列产品特点

精度：0.5 % F.S.

测量范围：0.5%~100% F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

≤1s 快速响应

90+种气体适用

量程：2 sccm-200slm

通讯方式: 模拟量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

主要参数

介质要求 洁净干燥气体

气体种类

130+ Available for 130+types of gas

量程0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范围1%F.S-100%F.S.（1:100）

准确度0.2% F.S

重复精度0.05% F.S

线性度0.1%F.S

控制响应时间100ms

预热时间 0s

阀门 常闭

泄漏率 1*10-10 Pa*m³/s He (氟橡胶密封)

1*10-11 Pa*m³/s He（全金属密封）

分辨率 0.001sccm