气体流量计

MFC300 产品采用单电源供电(15~40VDC)；可模拟 量和数字通讯（CAN、RS485、RS232）显示和控制气体流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接连电脑通讯，并通过数字通讯改变控制流量或通讯 设置；也可以连二次仪表显示；具有多气体测量，高精 度，高稳定性，低零漂特性。
爱拓利具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件研发水平， 拥有完全自主知识产权的气体质量流量计及控制器核心部件（高精度气体质量流量传感器和高稳定性微型比例阀、全金属密封比例阀）及生产设备，是国内少数能够全面自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业之一。“以关键技术自主研发为核心使命、以市场为导向”，爱拓利致力于为用户提供精准、稳定、可靠的标准化产品、定制化服务和解决方案。

我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），

主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高

性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控

制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值

外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高

效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高

精度，高稳定性，低零漂等特性。

MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种域的科研和生产中有着重要的应用。其典型

的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系

统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器