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托托科技高精度无掩模紫外光刻机
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价格：￥电议
更新日期：2026/8/14 13:40:44
生 产 地：中国大陆
产品型号：UV Litho-ACA
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相关标签：无掩模光刻机,激光直写,无掩模光刻
详细内容
UV Litho-ACA 是托托科技科研版无掩模紫外光刻机，主打高灵活性与高精度，适配各类科研场景，采用步进式光刻方案，配备多镜头电动切换功能，标准加工幅面为 6 英寸。
设备依托 DMD 无掩模光刻技术，无需制作掩模版，可直接导入 GDS、DWG、DXF 格式图形文件完成图案曝光，能快速验证科研设计方案。搭载 405nm/380nm LED 光源，灰度光刻功能支持选配，可满足多样化微纳结构制备需求。
设备支持不同尺寸样品加工，样品厚度适配 0-10mm，具备稳定的套刻能力，可完成多层结构光刻作业。整机体积紧凑、重量适中，对安装场地要求常规，环境适配性强，适用于微电子、二维材料、MEMS、光学微结构等领域的科研实验。
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